| Provincia | 2002 | 2003 | 2004 | 2005 | 2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Antofagasta | 330512 | 335821 | 340990 | 346091 | 351261 | 356646 | 362280 | 368227 | 374309 | 380524 | 386832 | 393104 | 399392 | 405698 | 411931 | 418067 | 424084 | 429982 | 435725 |
| El Loa | 148959 | 151444 | 153843 | 156237 | 158666 | 161191 | 163822 | 166587 | 169430 | 172345 | 175305 | 178260 | 181218 | 184190 | 187137 | 190047 | 192901 | 195694 | 198435 |
| Tocopilla | 32681 | 32641 | 32585 | 32529 | 32488 | 32458 | 32456 | 32478 | 32523 | 32569 | 32618 | 32661 | 32718 | 32752 | 32807 | 32836 | 32860 | 32869 | 32878 |
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